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工業運用場合的不斷擴大，某些生產廠家研制出了專門使用于工業場合的工業伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了*款專為工業場合使用的73系列伺服閥產品。隨后，越來越多的專為工業用途研制的伺服閥出現了。它們具有如下的特征：較大的體積以方便制造；閥體采用鋁材（需要時亦可采用鋼材）；獨立的*級以方便調整及維修；主要使用在14MPa以下的低壓場合；盡量形成系列化、標準化產品。然而Moog公司在德國的分公司卻將其伺服閥的應用場合主要集中在高壓場合，一般工作壓力在21MPa，有的甚至到35MPa，這就使閥的設計專重于高壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業場合的廣泛運用，各公司均推出了各自的適合工業場合用的比例閥。其特點為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過*控制技術和*電子裝置以彌補其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。1973年，Moog公司按工業使用的需要，把某些伺服閥轉換成工業場合的比例閥標準接口。Bosch研制出了其標志性的射流管先導級及電反饋的平板型伺服閥

PARKER變量泵主要用在電氣液壓伺服系統中作為執行元件（見液壓伺服系統）。在伺服系統中，液壓執行機構同電氣及氣動執行機構相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動平穩、抗干擾能力強等特點。另一方面，在伺服系統中傳遞信號和校正特性時多用電氣元件。因此，現代高性能的伺服系統也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統的必需元件。美國PARKER派克PVS系列變量葉片泵結構比較復雜，造價高，對油的質量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結構大為簡化。另一個方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數。利用這一性質就可通過電信號直接控制油流。

美國進口PARKER派克PVS系列變量葉片泵按結構分為滑閥式、噴嘴擋板式、射流管式、射流板式和平板式等；按輸入信號可分為機液伺服閥、電液伺服閥和氣液伺服閥。機液伺服閥是將小功率的機械動作轉變為液壓輸出量（流量或壓力）的機液轉換元件。機液伺服閥大都是滑閥式結構，在船舶的舵機、機床的仿形裝置、飛機的助力器上應用*。電液伺服閥是將電量轉變成液壓輸出量的電液轉換元件，出現於1940年。到50年代，這種元件的結構趨於成熟。隨著電子技術和計算機技術的發展，電液伺服系統的性能得到顯著改善，大大優於其他的液壓伺服系統，因而得到廣泛應用。電液伺服閥的內部結構可分滑閥位置反饋、載荷壓力反饋和載荷流量反饋；閥的級數可分單級、雙級和多級。在電液伺服閥中，將電信號轉變為旋轉或直線運動的部件稱為力矩馬達或力馬達。力矩馬達浸泡在油液中的稱為濕式，不浸泡在油液中的稱為乾式。其中以滑閥位置反饋、兩級乾式電液伺服閥應用zui廣。

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